Создание технологической линии и технологий малосерийного производства СБИС с проектными нормами от 22нм

Инициатор: Группа компаний НТ-МДТ. Генеральный директор В.А. Быков

Цели и задачи проекта:

• разработка и создание базового комплекта оборудования для разработок и мелко серийного производства КМОП СБИС и СВЧ МИС с проектными нормами 22 нм;
• разработка технологий мелкосерийного производства СБИС и СВЧ МИС с проектными нормами от 22нм, в том числе с трехмерной архитектурой;
• адаптация базовых, стандартных систем проектирования СБИС специального и двойного применения с проектными нормами 22 нм, в том числе радиационно-стойких;
• разработка и создание базового комплекта зондового, контрольно-измерительного и аналитического оборудования для функционального контроля, параметрического контроля и отработки технологических процессов.

Экосистема проекта:

Возможные участники проекта:

НИИФП, НИУ МИЭТ, ФГУ НПК «ТЦ МИЭТ», ЗАО "ППК Миландр", НИИТМ, ЗИТЦ, ЗНТЦ, ГК «Элвис», ФГУП НИИФП им. Ф.В.Лукина, ОАО АНГСТРЕМ-Т, Субмикрон, Эсто-Вакуум.

Ключевые потребители услуг:

В кластере: 

НИИ Субмикрон, ОАО «Завод «Компонент», «Миландр», НПЦ «Элвис» НПК «Технологический центр», ЗНТЦ, ОАО «Ангстрем-Т».

В Москве и России: 

 НИИСИ РАН, НТЦ «Модуль», НИИМА «Прогресс», Мультиклет», Екатеринбург, КТЦ «Электроника», ВЗПП-С, ВЗПП-Микрон, Воронеж, НИИЭТ, Воронеж, ОАО «ГСКБ «Алмаз-Антей», ОАО «НИЭМИ», ОАО «Радиофизика», ОАО «МНИИРЭ «Альтаир», ОАО «МНИИ «Агат», ОАО «ВНИИРТ», ОАО «ФНПЦ «ННИИРТ», ОАО «ВНИИРА», ОАО «НИИИП», ОАО «НПО «ЛЭМЗ», ОАО «ОКБ «Новатор», ОАО «МКБ «Факел», ОАО «НПО «Стрела», ФГУП «Государственное НИИ приборостроения», ОАО «НИИП им.В.В. Тихомирова», ОАО «УМЗ», ОАО «РТИ», ОАО «НПК «НИИДАР», ФГУП «НПП «Исток», ФГУП «НПП «Пульсар», ОАО «Светлана», ЗАО «Светлана- Рост», ЗАО «НПФ «Микран», ОАО «Авангард» ОАО «Октава», ОАО «НИИПП», ОАО «ОКБ «Планета», ОАО «НПП «Планета-Аргалл», ФГУП «НИИЭТ», ЗАО «МЦСТ», ОАО «НПП «Завод «Искра», ОАО «НПП «ЭлТом», ОАО «НИИ «Гириконд», ФГУП «РНИИРС».

За рубежом: 

ОАО «ИНТЕГРАЛ» (г. Минск).

Социально-экономический эффект:

• Создание рабочих мест и развитие кадрового потенциала Москвы;
• Импортозамещение и развитие российского рынка микроэлектроники.
• Преодоление научно-технологического отставания.